Bolometer mixer: HEBM）と位相同期安定化された3 THzの量子カスケードレーザー（Quantum Cascade Laser: QCL）を組み合わせ、3THz波の周波数精度評価を実施した（図15）。HEBMは、超伝導窒化ニオブ（NbN）の超薄膜ストリップラインを液体ヘリウム温度まで冷却して使用する高感度ヘテロダイン検出器である。超伝導状態ではストリップラインの抵抗値はゼロであるが、ここにTHz帯の光が入るとホットエレクトロンが発生し、抵抗値が変化する。周波数が少し異なる2本のテラヘルツ波を同時にカップルした場合、抵抗値はビート成分の周波数とも同期して変化するため、この抵抗値の変化をモニターすることにより2本のテラヘルツ波のビート周波数を測定することができる。2本のテラヘルツ波の1つとして位相同期安定化FrequencyStability10-210-110010110210310-1610-1510-1410-1310-1210-11Meas. BW: 50Hz Allan Deviation σy(τ)Averaging Time τ (sec) Signal Generator 100GHz 700GHz10-1100101102103104-80-60-40-200 Power Spectral Density (dBc/Hz)Frequency (Hz) 700GHz 100GHzPhaseNoise図14 光差周波発生によるテラヘルツ連続波の周波数安定度（左）とSSB位相雑音スペクトル（右）緑線は100 GHz、赤線は700 GHz信号を表している。図15 3THz量子カスケードレーザーとホットエレクトロンボロメーターミキサーを利用した光差周波3THz連続波の性能評価99.899.9100.0100.1100.2 10dB / divRBW:100kHzGHz100GHz700GHz699.8700.0700.210dB/divGHzRBW:10kHz図13 光コムの異なるモードを選択して発生させたテラヘルツ連続波。（左） 100 GHz付近、（右） 700 GHz付近の信号光コムのモード間隔100 MHzおきにテラヘルツ連続波が発生している。138 情報通信研究機構研究報告 Vol. 65 No. 2 （2019）4 原⼦周波数標準
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