【参考文献【 1N. Cyr, M. Têtu, and M. Breton, “All-optical microwave frequency standard: a proposal,” IEEE Trans. Instrumentation and Measurement, vol.42(2), pp.640–649, 1993.2Knappe, V. Shar, P. Schwindt, L. Hollberg, J. Kitching, L. A. Liew, and J. Moreland, “A Microfabricated Atomic Clock,” Appl. Phys. Lett., vol.85(9), pp.1460–1462, 2004.3https://www.microsemi.com/product-directory/clocks-frequency-references/3824-chip-scale-atomic-clock-csac4R. Lutwak, “Principles of Atomic Clocks,” in Tutorial Material of the IEEE Frequency Control Symposium (2011).5M. Hara, Y. Yano, M. Kajita, H. Nishino, M. Toda, S. Hara, A. Kasamatsu, H. Ito, T. Ono, and T. Ido, “Microwave Oscillator Using Piezoelectric Thin-film Resonator Aiming for Ultraminiturization of Atomic Clock,” Rev. Sci. Instrum, 89, 105002, 2018.6T. Nishihara, T. Yokoyama, T. Miyashita, and Y. Satoh, “High Perfor-mance and Miniature Thin Film Bulk Acoustic Wave Filters for 5 GHz,” Proc. IEEE International Ultrasonic Symposium, pp.969–972, 2002.7R. Aigner, J. Ella, H. J. Timme, L. Elbrecht, W. Nessler, and S. Mark-steiner, “Advancement of MEMS into RF-filter Applications,” Dig. Inter-national Electron Devices Meeting, pp.897–900, 2002.8S. Taniguchi, T. Yokoyama, M. Iwaki, T. Nishihara, M. Ueda, and Y. Satoh, “An Air-gap Type FBAR Filter Fabricated Using a Thin Sacrificed Layer on a Flat Substrate,” Proc. IEEE Ultrasonic Symposium, pp.600–603, 2007.9Y. Yano, M. Kajita, T. Ido, and M. Hara, “Coherent Population Trapping Atomic Clock by Phase Modulation for Wide Locking Range,” Appl. Phys. Lett., 111, 201107, 2017.10B. L. Bean, and R. H. Lambert, “Temperature Dependence of Hyperfine Density Shifts. IV. 23Na, 39K, and 85Rb in He, Ne, Ar, and N2 at low temperature,” Phys. Rev. A., vol.13(1), pp.492–494, 1976.11J. Vanier, R. Kunski, N. Cyr, J. Y. Savard, and M. Têtu, “On Hyperfine Frequency Shifts Caused by Buffer Gases: Application to the Opti-cally Pumped Passive Rubidium Frequency Standard,” J. Appl. Phys., vol.53(8), pp.5387–5391, 1982.原 基揚 （はら もとあき）電磁波研究所時空標準研究室博士（工学）MEMS、圧電素子、原子時計矢野雄一郎 （やの ゆういちろう）電磁波研究所時空標準研究室博士（工学）原子時計、マイクロ波周波数標準、数値計算梶田雅稔 （かじた まさとし）電磁波研究所時空標準研究室理学博士量子エレクトロニクス、原子分子物理学井戸哲也 （いど てつや）電磁波研究所時空標準研究室室長博士（工学）光周波数標準、光周波数計測＊1MEMS: 半導体微細加工技術を用いて作製される微細な電気機械システム。加工法自体を指すこともある。＊2CPT共鳴：一つの励起準位と二つの基底準位とからなり、基底準位間は禁制関係にある3準位系において、二つの基底準位から同時に光ポンピングを行なった際、励起が相殺され、光と原子との相互作用がキャンセルされる現象＊3FBAR: 圧電薄膜を電極薄膜で挟んだ自立構造体。電極に高周波を印加すると、共振応答を示す。＊4アラン分散：周期信号の時間情報（周期）の統計量（分散値）から周波数のバラツキを評価する指標。長期の周波数安定度評価に向く。224 情報通信研究機構研究報告 Vol. 65 No. 2 （2019）6 時空標準技術の社会実装を⽬指して
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